質(zhì)量流量控制器（MassFlowController縮寫(xiě)為MFC）用于精確測(cè)量和控制氣體或液體的質(zhì)量流量。**應(yīng)用于真空鍍膜、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、氣體混合系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量氣相色譜儀、光纖制造等設(shè)備。以及石化、冶金、制藥等行業(yè)。

質(zhì)量流量控制器一般分為以下幾種：

1、容積式流量計(jì)——又稱定排量流量計(jì)。它利用機(jī)械測(cè)量元件將流體連續(xù)分成單個(gè)已知體積部分，并根據(jù)測(cè)量室中連續(xù)填充和排出流體體積部分的次數(shù)來(lái)測(cè)量流體體積流量。

2、浮子式流量計(jì)——又稱轉(zhuǎn)子流量計(jì)，是一種變截面流量計(jì)。在一個(gè)自下而上膨脹的立式錐管中，圓形截面浮子的重力由液體所承受的力所決定，使浮子在錐管內(nèi)可以自由升降。

3、差壓流量計(jì)——是根據(jù)安裝在管道中的流量檢測(cè)裝置產(chǎn)生的差壓、已知的流體狀況以及檢測(cè)室和管道的大小來(lái)計(jì)算流量的儀表。

4、渦街流量計(jì)——將非流線型渦流發(fā)生器置于流體中，流體在發(fā)生器兩側(cè)交替分離，釋放出兩組規(guī)則交錯(cuò)的渦流。

5.渦輪流量計(jì)-是速度流量計(jì)的主要類型。它采用多葉片轉(zhuǎn)子（渦輪）感應(yīng)流體的平均流速，從而推導(dǎo)出流量計(jì)的流量或總量。

6、超聲波流量計(jì)——通過(guò)檢測(cè)流體流動(dòng)對(duì)超聲波束（或超聲波脈沖）的影響來(lái)測(cè)量流量的儀表。

7、電磁流量計(jì)——電磁流量計(jì)是根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律制成的測(cè)量導(dǎo)電液體的儀表。電磁流量計(jì)具有一系列優(yōu)良的特性，可以解決其他流量計(jì)不易應(yīng)用的問(wèn)題，如臟流量和腐蝕性流量的測(cè)量。

8.熱式流量計(jì)——熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)流量傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們會(huì)自動(dòng)補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將轉(zhuǎn)速傳感器加熱到高于工況溫度的一定值，使轉(zhuǎn)速傳感器與測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定的溫差。當(dāng)溫差保持恒定時(shí)，電加熱所消耗的能量，也可以說(shuō)是散熱值，與流過(guò)的氣體質(zhì)量流量成正比。適用于單一氣體和固定比例的多種組分。氣體測(cè)量。

9、科里奧利流量計(jì)——其原理是利用流體在振動(dòng)管中流動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的科里奧利力直接或間接測(cè)量該力，從而得到流體質(zhì)量流量。